早於民國六十年間,臺北地區的女性法官及檢察官約莫十數人,即有一個不定期的聯誼性聚會。已故的大法官范馨香女士於七十年間曾有意成立女法官協會,可惜未能完成心願,就因故中途作罷。然而前開聯誼性的聚會一直持續,嗣經亞洲協會前駐臺代表高懿德及其臺灣分會執行長王世榕先生的推介協助,中華民國女法官協會尚未成立之前,即推派代表參與國際女法官協會籌備會議,並於民國八十一年由張仁淑、王昱之二人正式以中華民國女法官協會之成立及首任會長派特法官之就職典禮。當時,經照章繳費登記加入該會為創始會員者,共有陳孟瑩、城璧連、朱錦娟、黃綠星、高秀真、方正琬、曾桂香、王維靜、楊慧英、徐璧湖、陳秀美及張仁淑等十二人。
迨有關公務人員組織人民團體之法令修正,並受國際女法官協會成立之激勵,參酌菲律賓女法官協會之發展經驗,本會終於在八十一年底在最高法院張仁淑法官領導下重新出發,積極進行,徵集發起人七十七人,擬定章程草案,於八十三年三月間由張仁淑法官代表向內政部申請許可設立。內政部函經司法院同意後,以同年七月二十日函許可籌組,籌備期間六個月。本會旋於同年八月二十七日召開發起人會議,推選張仁淑法官、徐璧湖法官、林錦芳法官、王昱之法官、鍾慧芳法官、黃瑞華法官、謝碧莉法官為籌備委員,組織籌備會。籌備委員推選張仁淑法官為主任委員,進行籌備工作各項事宜,並經籌備會祕書楊華芳協助,如期完成籌備工作,於八十四年一月七日召開成立大會,會員共一百零二人。國際女法官協會會長派西塔‧倪蒞會見證,訂定章程,推選理事、監事,中華民國第一個依法設立之司法官團體於焉誕生,此為中華民國各級法院女法官共同努力之心血結晶。嗣經內政部以八十四年三月九日函准予立案,頒發全國性及區級人民團體立案證書。